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随着摩尔定律的推进，制程工艺的难度和生产的工序都大幅增加，同时成本也大幅增加，特别是进入28nm以下制程之后的较长一段时间，20nm和16/14nm制程的成本一度高于28nm，这是摩尔定律运行60多年来首次遇到制程缩小但成本不降反升的问题。这也使得28nm一度作为最具性价比的制程工艺长期活跃于市场。 即便是随着20/16/14nm成本的降低，28nm工艺也依然占据了很大的市场，特别是在格芯、联电放弃10nm以下先进制程之后，开始将更多的精力放在的成熟制程上，不少晶圆厂还基于28nm推出了在低功耗、防辐射、低软错误率、耐高温和EMC、车载可靠性上更具优势的FD-SOI工艺，使其更适合物联网（IoT）在成本、功耗和性能方面的要求。 虽然目前手机芯片即将进入5nm制程工艺，但是在物联网、工业、新型存储等众多市场，28nm仍是比较主流的制程工艺节点。而且28nm以下的40/45/65nm也有着不小的市场。 从全球第一大晶圆代工厂台积电的2020年第一季度的营收占比来看，目前28nm占比仍有14%。而其28/40/45/65nm的总体占比更是高达30%。 显然，对于上海微电子来说，其28nm光刻机的顺利推出，将打破国外厂商的对于IC前端光刻机市场的垄断，可覆盖更为广阔的市场需求，特别是在国产替代趋势之下，将有望大幅提升其光刻机的出货量、营收和利润率。同时，也将帮助国内的晶圆代工厂降低对于国外半导体设备的依赖，进一步提升半导体制造关键设备的国产化率，提升中国半导体产业链的整体实力。
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